世界一流的AlN/AlGaN外延模板
得益于长达十年的高温MOCVD外延生长经验，尤其擅长AlN及Al组分高于0.4的AlGaN的外延生长及n型掺杂
AlN模板
2英寸，XRC (002/102) ≤ 80/400 arcsec，厚度均匀性（5%），AFM RMS（＜1nm），厚度1~3um可调
AlGaN模板
基于高质量AlN模板的原位生长AlxGa1-xN模板，Al组分0.4~1可调，n型掺杂激活浓度≥3e18 cm-3
| 产品型号 | 产品类别 | 产品图片 | 晶体质量 (002) | 晶体质量 (102) | 外延层厚度 | 表面粗糙度 | 边缘扣除 | 规格书 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| WAlN-SA400 | Sapphire/AlN外延片/模板 |  |
≤ 80 arcsec | ≤ 400 arcsec | 2~3 μm | ≤ 1 nm | ≤ 3 mm |
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| WAlN-NS400 | NPSS/AlN外延片/模板 | |
≤ 200 arcsec | ≤ 200 arcsec | ≥ 5 μm | ≤ 1 nm | ≤ 3 mm |
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| WAlN-SC001 | SiC/AlN外延片/模板 |  |
50~5000 nm |
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| WAGN-AN001 | AlGaN外延片/模板 | |
≤ 300 arcsec | ≤ 500 arcsec | 1~2 μm | ≤ 2 nm | ≤ 3 mm |
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