ある種の物質は特定の波長の紫外線を吸収する性質を持ち,紫外線を照射し透過の光量を測定することでガス中の濃度を得ることができる。この原理はオゾン分析装置にも用いられ、TOC(全有機炭素)、タンパク質、SOx、NOx、塩素などにも用いられ、同様の原理を用いて分析することができる。
これらのものを分析するために、UV水銀灯が使われています。しかし,サイズと電圧には様々な制限がある。この解析装置に深い紫外LEDを用いることで,小型化と低電力消費が可能になる。
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